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精密制造的加工誤差從過(guò)去的微米（10^-6m）進(jìn)入了納米（10^-9m）和亞納米尺度。因此，制造業(yè)對(duì)精密測(cè)量?jī)x器的需求越來(lái)越廣泛，同時(shí)誤差要求也越來(lái)越高。在現(xiàn)代高端制造業(yè)中，亟需納米級(jí)精測(cè)的行業(yè)包括顯示面板，半導(dǎo)體芯片，高端機(jī)床，EUV反射鏡以及LED晶圓行業(yè)。與顯示技術(shù)的下游領(lǐng)域包括智能手機(jī)、平板電腦、筆記本電腦、電視、顯示器等，并且未來(lái)有可能在汽車電子、工業(yè)控制、電子標(biāo)簽、智慧醫(yī)療等新興領(lǐng)域扮演重要角色。顯示屏作為人機(jī)交互的界面，其市場(chǎng)規(guī)模正在隨著智能手機(jī)等終端設(shè)備數(shù)量的增加而不斷擴(kuò)大，面板需求量和出貨面積逐年攀升。因此MiniLED、MicroLED、OLED產(chǎn)業(yè)的爆發(fā)給中國(guó)面板制造行業(yè)提供了巨大的機(jī)會(huì)。明銳儀器的宗旨就是發(fā)展工業(yè)級(jí)在線納米精測(cè)技術(shù)，通過(guò)納米云臺(tái)的獨(dú)創(chuàng)技術(shù)來(lái)補(bǔ)償生產(chǎn)線環(huán)境噪音，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜形狀和超大尺寸的納米級(jí)在線精測(cè)，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)乃至國(guó)際上的空白。核心技術(shù)是以原子力探針技術(shù)為基礎(chǔ)的納米測(cè)量平臺(tái)，結(jié)合各類納米光譜測(cè)量，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)各種物理性能的表征。納米測(cè)量包括具有納米尺度分辨力的三維幾何形貌，粗燥度，多層膜厚，以及局域力學(xué)，電學(xué)性能等參量。這些參量的實(shí)時(shí)監(jiān)控既可以對(duì)產(chǎn)線在制造前端和后端進(jìn)行質(zhì)量監(jiān)控，又可對(duì)生產(chǎn)工藝進(jìn)行優(yōu)化。從而通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)生產(chǎn)工藝提高產(chǎn)線良率。明銳作為擁有先進(jìn)制造行業(yè)的“卡脖子”核心技術(shù)。公司還將發(fā)展的大尺度復(fù)雜結(jié)構(gòu)的精密測(cè)量技術(shù)，把關(guān)鍵核心技術(shù)掌握在自己手里。 【展開】 【收起】